1、采用磁控濺射法制備錳銅薄膜,濺射和真空蒸發(fā)法制備鐿薄膜.
2、用磁控濺射低溫沉積鍍膜技術(shù)制做錳銅薄膜,能夠保持薄膜中錳、銅、鎳成份的相對(duì)穩(wěn)定和錳銅合金正六面三元固溶體金相結(jié)構(gòu)的特性.