1、微熱量測(cè)量用來決定各種能量關(guān)系.
2、6各種低電壓測(cè)量的應(yīng)用: 標(biāo)準(zhǔn)電池的比較 、 高分辨率的溫度測(cè)量以及微熱量測(cè)量等.
3、給出了采用犧牲 層技術(shù) 制作的微熱板式氣壓傳感器的加工工藝和工作原理.